01308nam a2200265 c 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049002800082052001500110056001300125082001800138245029400156260009000450300003800540440012700578500004000705504002800745650005900773650004000832650004000872710002000912710009300932950001701025KMO20073845120200522145724070806s2007    tjkad         000   kor  0 akorbeng0 lEM3952083lEM3952084c201a569.4b7-8  a569.4240 a621.3815222100a수소 및 중수소 이온 빔 조사를 통한 nano-scale MOS 소자의 신뢰성 개선 방법=xStudy on the improvement of reliability for nano-scale MOS devices through the radiation of hydrogen or deuterium/d한국원자력연구소 양성자기반공학기술개발사업단 [편]  a[대전]:b한국원자력연구소 양성자기반공학기술개발사업단,c2007  av, 27장:b삽화, 도표;c30 cm00a양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영=xDevelopment and management of proton accelerator user program  a연구수행기관: 위덕대학교  a참고문헌: 장 25-27 8a양성자 가속기[陽性子加速器]0KSH1998003356 8a양성자[陽性子]0KSH1998020138 8a반도체[半導體]0KSH1998000581  a위덕대학교  a한국원자력연구소.b양성자기반공학기술개발사업단0KAB2017336284aut1 a가격불명