00763nam a2200193 c 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049003200082052001500114056001300129082001800142245018300160260003600343300004000379502008000419504002900499700004100528KDM20072077220200914165822070418s2007    hbkad      LA 000   kor  0 akorbeng0 lEM3864050lEM3864051c2fDP01a569.8b7-2  a569.8240 a621.3815422100a멀티전자빔 리소그라피를 위한 저에너지 마이크로컬럼에 관한 연구=x(A)study of low energy microcolumn for multiple electron-beam lithography/d최상국  a청주:b청주대학교,c2007  avi, 103장:b삽화, 도표;c26 cm1 a학위논문(박사) --b청주대학교 대학원,c전자공학과,d2007  a참고문헌: 장 97-1011 a최상국,d1948-0KAC2016348654aut