01030nam a2200229 k 4500001001500000005001500015008004100030040001900071041001300090049001800103052002200121056001400143082001600157100003600173245018500209260004200394300002900436502007300465653017200538940007300710963001700783KDM199410181  20180906090615941107s1993    tjka       CB 000   kor    a011001c0110010 akorbeng0 lEM1079356fDP01a425.32b김825ㄱ  a425.32230 a535.3232191 a김종태,d1962-0KAC20184675010a극자외선 마이크로 리소그라피를 위한 4-반사경 광학계의 수차해석=xAberration analysis of 4-mirror optical system for deep UV micro-lithography/d김종태  a서울:b한국과학기술원,c1993  aiv,73장:b삽도;c26cm1 a학위논문(박사) --b한국과학기술원:c물리학과,d1993  a극자외a마이크로a리소그라피a4반사경a광학계a수차해석aABERRATIONaANALYSISa4MIRRORaOPTICALaSYSTEMaDEEPaUVaMICROLITHOGRAPHYa사반사경0 a극자외선 마이크로 리소그라피를 위한 사-반사경...  a물리학과