00851nam a2200205 c 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049003200082052001600114056001400130082001600144245021600160260003600376300003500412502008900447504002800536650004000564700004100604KDM20066420420200825090122061025s2006 ggkad HE 000 kor 0 akorbeng0 lEM3745886lEM3745887c2fDP01a561.43b6-1 a561.43240 a621.37222100a격리영역의 농도를 낮춘 고전압 집적 회로용 인터커넥션의 설계 및 제작=xDesign and fabrication of high voltage interconnection using lightly doped isolation region for HVIC/d김성룡 a수원:b아주대학교,c2006 a96장:b삽화, 도표;c26 cm1 a학위논문(박사) --b아주대학교 대학원,c분자과학기술학과,d2006 a참고문헌: 장 91-94 8a고전압[高電壓]0KSH19980162691 a김성룡,d1973-0KAC2020E73234aut