01054nam a2200265 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031041001300072049003200085052001700117056001300134082001400147245018500161260003700346300004300383500002800426500003800454502008000492504003000572546002500602700005300627900001400680940009400694KDM20184002520200911164240ta180731s2018    ggkad    m HE 000   kor  0 akorbeng0 lEM7097423lEM7097424c2fDP01a530.9b18-46  a530.92601a658.522300a반도체 FAB 자동화물류 시스템의 모델링 및 시뮬레이션에 관한 연구 =xStudy on the modeling and simulation methodology of semiconductor FAB AMHS /d장대순  a수원 :b아주대학교,c2018  avii, 111장 :b삽화, 도표 ;c26 cm  a지도교수: 박상철  aFAB는 "fabrication"의 약어임1 a학위논문(박사) --b아주대학교 대학원,c산업공학과,d2018  a참고문헌: 장 104-110  a영어 요약 있음1 a장대순,g張大淳,d1986-0KAC2018747624aut10a박상철0 a반도체 팹 자동화물류 시스템의 모델링 및 시뮬레이션에 관한 연구