01469nam a2200265 k 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049003200082052001300114056001100127082001200138245027100150260003600421300003900457502008300496650005300579650004200632650004700674650004600721650005300767653022000820700003301040963013001073KDM20034276920200929160006031127s2003    ulka       AQ 000   kor  0 akorbeng0 lEM2917798lEM2917799c2fDP01a576b3-5  a576240 a66622100a화염가수분해 증착법에 의한 제조공정이 실리카 광도파로의 광학적 특성에 미치는 영향=x(The)influence of fabrication processes on optical properties of silica planar optical waveguide formed by flame hydrolysis deposition/d김태홍  a서울:b연세대학교,c2003  axiii, 170장:b색채삽도;c26cm1 a학위논문(박사) --b연세대학교 대학원:c세라믹공학과,d2003 8a이산화 규소[二酸化硅素]0KSH1998026684 8a세라믹스[ceramics]0KSH1998005281 8a광전 소자[光電素子]0KSH1998001920 8a광도파로[光導波路]0KSH2002033369 8a이산화 규소[二酸化硅素]0KSH1998026684  a화염가수분해aFHDaFLAMEaHYDROLYSISaDEPOSITIONa실리카막a증착법a실리카a광도파로a채널a플랫폼a평면a광집적회로a광분배기a하이브리드a광모듈a실리카막a고밀화1 a김태홍0KAC2020D70004aut  a세라믹공학과a이산화a규소[이산화규소]a실리카[silica]a세라믹스[ceramics]a광도파로[광도파로]