01732nam a2200433 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031041001800072049003200090052001600122056001300138082001800151245044000169260004500609300003700654490011000691546003600801650004800837700001400885700001400899700001400913700001400927700001400941700001400955700001400969700001400983700001400997700001401011700001401025700001401039700001401053700001401067700001401081710004501095830006901140830007201209950001701281KMO20160872520211125101617ta151223s2015    ggkad         000   korMZ0 akorbkorbeng0 lEM6313359lEM6313360c2fGP01a569.4b16-1  a569.42601a621.3815222300a3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피 기술 개발 연구 =xDevelopment of lithography technologies for 3D nano-micro hybrid structures /d주관연구기관명: 한국기계연구원 ;e주관연구책임자: 이재종 ;e연구원: 최기봉,e김기홍,e임형준,e권순근,e이성휘,e안준형,e이수옥,e류지형,e정미라,e정상희,e이상욱,e정대경,e우희명,e마무드  a[과천] :b미래창조과학부,c2015  a47장 :b삽화, 도표 ;c30 cm10a글로벌프런티어사업.a바이오나노헬스가드 연구 =aBionano health guard research program  a한국어, 영어 요약 있음 8a리소그래피[lithography]0KSH20020407441 a이재종1 a최기봉1 a김기홍1 a임형준1 a권순근1 a이성휘1 a안준형1 a이수옥1 a류지형1 a정미라1 a정상희1 a이상욱1 a정대경1 a우희명0 a마무드  a한국기계연구원0KAB2015004384aut 0a글로벌프런티어사업.p바이오나노헬스가드 연구 0a글로벌프런티어사업.pbionano health guard research program1 a가격불명