00960nam  2200217 k 4500001001300000005001500013008004100028041001300069049003200082052001300114056001100127082001200138245016900150260003600319300003100355502008300386650006200469653012800531700001400659963006900673KDM20031784220030424113143030424s2003    ulka       AQ 000   kor  0 akorbeng0 lEM2793203lEM2793204c2fDP01a576b3-2  a576240 a66622100aAIN 압전 박막의 탄성파 특성 및 고주파 소자 응용=xAcoustic wave properties of AIN piezoelectric thin films and RF devices applications/d이시형  a서울:b연세대학교,c2003  axv, 238장:b삽도;c26cm1 a학위논문(박사) --b연세대학교 대학원:c세라믹공학과,d2003 8a세라믹스 전자 재료[--電子材料]0KSH2001013149  a탄성파aAINa압전박막aC축배향성aROCKINGCURVEaFWHMa잔류응력a대역통과필터a탄성파공진기aWLAN1 a이시형  a세라믹공학과a세라믹스a전자a재료[--전자재료]