00620nam a2200157 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072052003300083245010500116300002200221545004700243700005300290773011900343KSI00085220920110721103338ta110425s2001    ulk           000   kor    a01100101a576.05b한568ㅅc4(1)-4(6)00a반도체 다층배선의 층간 절연막으로서의 플라즈마 중합 유기박막 /d정동근  ap. 26-35 ;c30 cm  a정동근, 성균관대학교 물리학과1 a정동근,g鄭東根,d1965-0KAC2018053964aut0 t세라미스트.d한국요업학회.g4권 1호(2001년 2월), p. 26-35q4:1<26w(011001)KSE199801461,x1226-976X