01181nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003400096245020000130300002400330545009500354545007700449653012200526700005300648700003600701773014600737856002100883900001700904900001800921KSI00080960920100626104235ta100513s2007    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한438ㅎㅅc2007(2)00a주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계 =xHardware design for generation of electron probe in scanning electron microscopy /d임선종,e이찬홍  ap. 325-328 ;c26 cm  a임선종, 한국기계연구원, 지능형 생산시스템 연구본부bsjlim@kimm.re.kr  a이찬홍, 한국기계연구원, 지능형 생산시스템 연구본부  a전자현미경a전자빔 프르브a전자 렌즈aScanning electron microscopyaElectron beam probeaElectron lens1 a임선종,g林善鍾,d1965-0KAC2017128794aut1 a이찬홍,d1956-0KAC2016236841 t(한국공작기계학회)학술대회 논문집.d韓國工作機械學會.g2007 秋季(2007), p. 325-328q2007:2<325w(011001)KSE20020194340u76522351aKd00210aLim, Sunjong10aLee, Chanhong