01059nam a2200241 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003400096245013000130300002300260545008100283545006300364653010100427700005300528700003600581773014400617856002100761900001700782900001800799KSI00080617620100626104217ta100506s2006    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a552.05b한438ㅎㅅc2006(2)00a전자 현미경의 제어 신호 체계의 설계 =xDesign of control signal systemization for SEM /d임선종,e이찬홍  ap. 97-100 ;c26 cm  a임선종, 한국기계연구원, 지능기계연구센터bsjlim@kimm.re.kr  a이찬홍, 한국기계연구원, 지능기계연구센터  a전자빔 가공기a전자 현미경aE-beam manufacturing systemaScanning electron microscope1 a임선종,g林善鍾,d1965-0KAC2017128794aut1 a이찬홍,d1956-0KAC2016236841 t(한국공작기계학회)학술대회 논문집.d韓國工作機械學會.g2006 秋季(2006), p. 97-100q2006:2<97w(011001)KSE20020194340u76522160aKd00210aLim, Sunjong10aLee, Chanhong