00957nam a2200229 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052002900096245017400125300002400299545006100323545006100384653005000445700001900495700004800514773012800562900001900690900001800709KSI00076148420091005100618ta090609s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a530.405b한596ㅎc8(1)00aX-ray 마스크용 W<TEX>$$N_x$$</TEX> 박막 증착에 관한 연구 =x(A)study on deposition of tungsten nitride thin film for X-ray mask.n1 /d장철민,e최병호  ap. 147-153 ;c30 cm  a장철민, 금오공과대학교 재료·금속공학부  a최병호, 금오공과대학교 재료·금속공학부  aX-ray 마스크aX-ray maskaTungsten nitride1 a장철민4aut1 a최병호,g崔炳浩,d1952-0KAC2018468670 t한국재료학회지.d韓國材料學會.g8권 2호(1998년 2월), p. 147-153q8:2<147w(011001)KSE199509224,x1225-056210aJang, Cheolmin10aChoi, Byungho