01278nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031040001100072041001300083052003500096245016500131300002400296545008400320545006300404545006300467545003700530653011400567700001900681700001400700700005200714700001400766773012400780900001800904900001700922900002000939900001700959KSI00069647020081110130102ta080804s2005    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a425.05b한446ㅎc16(1)-16(6)00a극자외선 영역에서 곡면 DOEs에 관한 연구 =xStudies on curved diffractive optical elements in EUV /d최성을,e이용우,e권명회,e김용후  ap. 304-312 ;c29 cm  a최성을, 인천대학교 자연과학대학 물리학과bschoi@incheon.ac.kr  a이용우, 인천대학교 자연과학대학 물리학과  a권명회, 인천대학교 자연과학대학 물리학과  a김용후, 한국과학기술원  aCurved-DOEsaEUVaDiffraction limited field angleaOblique incidencea극자외선 영역a회절광학요소1 a최성을4aut1 a이용우1 a권명회,g權銘會,d1956-20170KAC2016284051 a김용후0 t한국광학회지.d한국광학회.g16권 4호(2005년 8월), p. 304-312q16:4<304w(011001)KSE199509129,x1225-628510aChoi, Sungeul10aLee, Yongwoo10aKwon, Myounghoi10aKim, Yonghoo