01462nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245021900122300002300341545005700364545006700421545009300488545009300581653018400674700003300858700001400891700001400905700004800919773013600967900001701103900001601120900001801136900001801154KSI00064378920071004134158070817s2003    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc20(4)00a다구찌 실험계획법을 이용한 탄소코팅 초박막의 마찰특성=xFriction properties of carbon coated ultra-thin film using taguchi experimental design/d안준양,e김대은,e최진용,e신경호  ap. 143-150;c26 cm  a안준양, 연세대학교 대학원 기계공학과  a김대은, 연세대학교 기계공학부bkimde@yonsei.ac.kr  a최진용, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부 나노소자연구센터  a신경호, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부 나노소자연구센터  a증착조건a상대습도a다구찌 실험계획법a탄소코팅 초박막aDeposition conditionaRelative humidityaTaguchi experimental designaUltra-thin carbon coating film1 a안준양0KAC2020400804aut1 a김대은1 a최진용1 a신경호,g申慶浩,d1957-0KAC2018360630 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g20권 4호(2003년 4월), p. 143-150q20:4<143w(011001)KSE199508376,x1225-907110aAhn, Junyang10aKim, Daeeun10aChoi, Jinyong10aShin, Keongho