01342nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245020700122300002100329545005800350545005800408545005800466653026300524700005300787700004800840700001400888773013300902900001701035900001901052900001701071KSI00063866420071004134046070808s2000    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc17(1)00a10nano-meter 분해능을 갖는 laser scale을 이용한 위치 결정 실험=xExperiment for position accuracy using laser scale unit with 10 nano-meter resolution/d임선종,e정광조,e최재완  ap. 21-26;c26 cm  a임선종, 한국기계연구원, 자동화 연구부  a정광조, 한국기계연구원, 자동화 연구부  a최재완, 한국기계연구원, 자동화 연구부  aUltra-precisiona초정밀aLaser scale unita레이저 스케일aBall screwa볼스크류aPositioning systema위치 결정 시스템aBrushless DC servo motora브러쉬리스 DC 서보 모터aLM guidea리니어 가이드aVibration isolatora방진기1 a임선종,g林善鍾,d1965-0KAC2017128794aut1 a정광조,g鄭珖照,d1955-0KAC2018468791 a최재완0 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g17卷 1號(2000년 1월), p. 21-26q17:1<21w(011001)KSE199508376,x1225-907110aLim, Sunjong10aChung, Gwangjo10aChoi, Jaewan