01406nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245024800122300002100370545008400391545008400475545003600559545008400595653012100679700004100800700001400841700001400855700004800869773013300917900001701050900001601067900001501083900001801098KSI00064348520071004133925070816s1995    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc12(7)00a고진공 운송계에서의 정밀 압력제어장치의 설계 및 성능시험=xDesign and performance evaluation of the precision pressure control system for the high vacuum transport module/d장원익,e장기호,e정기로,e이종현  ap. 92-98;c26 cm  a장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부  a장기호, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부  a정기로, 코닉시스템(주)  a이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부  a고진공 운송계a정밀 압력제어장치aCluster toolaTransport moduleaDigital PIDaPressure control system1 a장원익,d1961-0KAC2017256684aut1 a장기호1 a정기로1 a이종현,g李鐘泫,d1958-0KAC2020K41270 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g12卷 7號(1995년 7월), p. 92-98q12:7<92w(011001)KSE199508376,x1225-907110aJang, Wonick10aJang, Keeho10aJung, Kiro10aLee, Jonghyun