01869nam a2200433 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002900093245023300122300002300355545007700378545006600455545006600521545006600587545006600653545004500719545004500764545004500809653011100854700001900965700003600984700003601020700001401056700001401070700001401084700001401098700004801112773013601160900001801296900001701314900001601331900001701347900001801364900001701382900001901399900001701418KSI00064052320071005133906070813s1994    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a555.05b한613ㅈc11(1)00a웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구=xMeasurement methodology for the alignment accuracy of wafer stepper/d이종현,e장원익,e이용일,e김도훈,e최부연,e남병호,e김상철,e권진혁  ap. 150-156;c26 cm  a이종현, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실(정회원)  a장원익, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실  a이용일, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실  a김도훈, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실  a최부연, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실  a남병호, 영남대학교, 물리학과  a김상철, 영남대학교, 물리학과  a권진혁, 영남대학교, 물리학과  a웨이퍼 스텝퍼a정렬광학계a정렬정확도aWafer stepperaAlignment opticsaAlignment accuracy1 a이종현4aut1 a장원익,d1961-0KAC2017256681 a이용일,d1961-0KAC2014155501 a김도훈1 a최부연1 a남병호1 a김상철1 a권진혁,g權進赫,d1956-0KAC2016081190 t한국정밀공학회지.d한국정밀공학회.g11권 1호(1994년 2월), p. 150-156q11:1<150w(011001)KSE199508376,x1225-907110aLee, Jonghyun10aJang, Wonick10aLee, Yongil10aKim, Dohhoon10aChoi, Booyeon10aNam, Byungho10aKim, Sangcheol10aKim, Jinhyuk