01626nam a2200313 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003700093245036300130300002300493545007600516545005600592545005600648545005600704545006400760653011500824700005300939700004800992700004801040700001401088700001901102773013101121900001501252900001401267900001501281900001601296KSI00058098820060919105302060914s2004    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc13(1)-13(4)00a크라이오 펌프를 이용한 스테인레스 스틸 고진공용기 배기에서 2차 냉각판 온도와 용기 내부의 기체 부분압 관계=x(The)relations between second-stage temperatures and gases partial pressures at the stainless steel high vacuum chamber by cryogenic pumping/d홍승수,e임종연,e신용현,e정광화,eIchiro Arakawa  ap. 139-144;c26 cm  a홍승수, 한국표준과학연구원 진공센터bsshong@kriss.re.kr  a임종연, 한국표준과학연구원 진공센터  a신용현, 한국표준과학연구원 진공센터  a정광화, 한국표준과학연구원 진공센터  aIchiro Arakawa, Department of Physics, Gakushuin University  a크라이오 펌프a잔류기체분석기a부분압aCryogenic pumpaResidual gas analyzeraPartial pressure1 a홍승수,g洪承秀,d1953-0KAC2017357504aut1 a임종연,g林鐘延,d1959-0KAC2017068001 a신용현,g申容賢,d1961-0KAC2017250021 a정광화1 aIchiro Arakawa0 t한국진공학회지.d韓國眞空學會.g13권 4호(2004년 12월), p. 139-144q13:4<139w(011001)KSE199508370,x1225-882210aHong, S.S.10aLim, J.Y.10aShin, Y.H.10aChung, K.H.