01062nam a2200301 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031041001300072049001800085052001700103056001300120082001800133245016900151260003900320300003800359500005200397500003100449504002900480546002500509650004000534650004100574700001400615710004800629710004600677910002000723950001700743KMO20135562120231115125643ta131002s1987    ggkad         000   korBU0 akorbeng0 lEM5751878fGP01a569.4b13-14  a569.42501a621.3815222100aPlasma etch system제작에 관한 연구 :b반도체장비개발 및 공정 data base 확립에 관한 연구중 :b最終硏究報告書 /d과학기술처 [편]  a[과천] :b과학기술처,c1987  a138 p. :b삽화, 도표 ;c27 cm  a주관연구기관: 한국전자통신연구소  a연구책임자: 박신종  a참고문헌: p. 137-138  a영어 요약 있음 8a반도체[半導體]0KSH1998000581 8a플라스마[[plasma]0KSH19980413771 a박신종  a한국.b과학기술처0KAB2014001224aut  a한국전자통신연구소0KAB201701746 0a과학기술처1 a가격불명