01148nam a2200253 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052002800093245020000121300002300321545004700344545004700391545004700438653011200485700001900597700004800616700001400664773017200678900001500850900001400865900001500879KSI00018369220040520195822040501s1998    ulk           000   kor    a0110010 akorbeng01a469.05b한428ㅎc8(2)00a기계적 손상이 비정질 규소박막의 결정화에 미치는 영향=xEffect of mechanical damage on the crystallization of amorphous silicon thin film/d문권진,e김영관,e윤종규  ap. 299-306;c29 cm  a문권진, 서울대학교 금속공학과  a김영관, 인천대학교 재료공학과  a윤종규, 서울대학교 금속공학과  a기계적 손상a비정질a규소박막aMechanical damageaCrystallizationaAmorphousaSilicon thin film1 a문권진4aut1 a김영관,g金榮寬,d1954-0KAC2018M24011 a윤종규0 tJournal of the Korean crystal growth and crystal technology.d韓國結晶成長學會.g8권 2호(1998년 5월), p. 299-306q8:2<299w(011001)KSE199508766,x1225-142910aMoon, G.J.10aKim, Y.K.10aYoon, J.K.