00658nam a2200157 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069052003600080245006100116300003000177545006800207653003500275700005300310773013700363KSI00017796220040220193158031218s2001    ulka          000   kor    a01100101a569.205b한597ㅈc14(1)-14(4)00aOptical MEMS에서의 액추에이터 응용/d김용권  ap. 42-49:b삽도;c26 cm  a김용권, 서울대학교 전기·컴퓨터공학부 부교수  aOpticalaMEMSa액추에이터1 a김용권,g金容權,d1960-0KAC2014147534aut0 t전기전자재료.d한국전기전자재료학회.gVol.14 no.2(2001년 2월), p. 42-49q14:2<42w(011001)KSE199800337,x1226-7937