01317nam a2200289 c 4500001001300000005001500013008004100028040001100069041001300080052003700093245019600130300003200326545006200358545006200420545006200482545006200544653009600606700004100702700004800743700001400791700001400805773013100819900002000950900001900970900001700989900002101006KSI00016277120040209194252031216s2001    ulka          000   kor    a0110010 akorbeng01a554.9405b한622ㅎc10(1)-10(4)00aRF/DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구=x(A)study on the RE/DC discharge cleaning for high vacuum SUS chamber/d김정형,e임종연,e서인용,e정광화  ap. 298-302:b삽도;c26 cm  a김정형, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a임종연, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a서인용, 한국표준과학연구원 진공기술센터  a정광화, 한국표준과학연구원 진공기술센터  aRFaDCa방전aSUSa고진공용a용기세정aDischargeaCleaningaHighaVacuumaChamber1 a김정형,d1968-0KAC2017435414aut1 a임종연,g林鐘延,d1959-0KAC2017068001 a서인용1 a정광화0 t韓國眞空學會誌.d韓國眞空學會.g10권 3호(2001년 10월), p. 298-302q10:3<298w(011001)KSE199508370,x1225-882210aKim, Jung-Hyung10aLim, Jong-Yeon10aSeo, In-Yong10aChung, Kwang-Hwa