00718nam a2200217 c 4500001001300000005001500013007000300028008004100031041001300072049003200085052001700117056001300134082001800147245007000165260003700235300004200272502008000314504002800394546002500422700005300447KDM20093825720091006145458ta090901s2009    hbkad    m LA 000   kor  0 akorbeng0 lEM4558926lEM4558927c2fDM01a569.4b9-129  a569.42401a621.3815222100aBTMSM 유량에 따른 SiOCH 박막의 특성 연구 /d金珉奭  a청주 :b淸州大學校,c2009  avii, 73장 :b삽화, 도표 ;c26 cm0 a학위논문(석사) --b淸州大學校 大學院,c電子工學科,d2009  a참고문헌: 장 69-72  a영어 요약 있음1 a김민석,g金珉奭,d1982-0KAC2018485264aut