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도서

Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS

표제/저자사항
Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS / edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera ; coauthors: Hideaki Adachi, Tomonobu Hata, Tomoaki Matsushima, Tomyooshi Motohiro, Kikuo Tominaga
Wasa, Kiyotaka   Kanno, Isaku   Kotera, Hidetoshi   Adachi, Hideaki   Hata, Tomonobu   Matsushima, Tomoaki   Motohiro, Tomyooshi   Tominaga, Kikuo   
판사항
Second edition
발행사항
Amsterdam : Elsevier/William Andrew, 2012
형태사항
xii, 644 pages : illustrations ; 24 cm
주기사항
Includes bibliographical references and index
표준번호/부호
ISBN 9781437734836
ISBN 1437734839
분류기호
듀이십진분류법-> 671.735
주제명
Cathode sputtering (Plating process) -- Handbooks, manuals, etc.    Thin films -- Handbooks, manuals, etc.
내용유형
text
매체유형
unmediated
수록매체유형
volume

권별정보

권별정보 목록
편/권차 편제 저작자 발행년도 ISBN 청구기호 자료이용하는곳 자료상태
edited by Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera ;coauthors: Hideaki Adachi, Tomonobu Hata, Tomoaki Matsushima, Tomyooshi Motohiro, Kikuo Tominaga 2012 9781437734836 W671.735-19-1 보존 서고 신청후이용(보존)

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