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학술기사

레이저 증착법에 의한 탄소계 박막의 구조 및 전계방출특성 = Deposition of carbon thin film using laser ablation and its field emission properties

표제/저자사항
레이저 증착법에 의한 탄소계 박막의 구조 및 전계방출특성 = Deposition of carbon thin film using laser ablation and its field emission properties / 류정탁, Kenjiro Oura, 김연보
형태사항
p. 634-639: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.15 no.7(2002년 7월), p. 634-639 15:7<634 ISSN 1226-7945
저자: 류정탁, 대구대학교 정보통신공학부 E-MAIL: jryu@taegu.ac.kr
저자: Oura, Kenjiro, Osaka University
저자: 김연보, 대구대학교 정보통신공학부
수록잡지명
전기전자재료학회논문지.
청구기호
569.205-한597ㅈㄱ-15(7)-15(12)
자료이용하는곳
3층 연속간행물실(서고자료대출반납)
자료 이용 방법
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초록내용/해제내용

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 Using laser ablation technique carbon thin films were deposited on Si(100) substrate as a function of substrate temperature. In this study, the surface morphologic, structural and field emission properties of these carbon thin films were investigated using Raman spectroscopy, scanning electron microscopy, and a diode technique, respectively. With increasing of the substrate temperature, the surface morphologies were changed significantly. Moreover, the intensity of D-band and the full width at half maximum of these bands were dependent on substrate temperatures. As the substrate temperature was increased, the field emission properties were improved. As the result, we find that the field emission properties of the films were changed significantly with the substrate temperature and structural features of carbon than films.

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